Описание:

С размерами партий 51 (4”) и 23 (6”) подложки в стандартной калотте ВАК-901 предлагает на 25% больше производственной мощности чем ВАК-761. Большая вакуумная камера позволяет разместить различные комбинации электронных пушек, лодочек и ионного источника. При этом остается много свободного пространства для комфортного обслуживания источников напыления.
 

 

 

 

 

 

 

 

Основные возможности:

• Работа с большими партиями
• Электронно-лучевая пушка до 3-х
• Резистивные испарители
• Магнетронные и плазменные источники
• Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
• Плазменная очистка тлеющим разрядом
• ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
• Кварцевый и оптический мониторинг
• Анализатор остаточного газа
• Оптическая пирометрия
• Полная SECS GEM совместимость

Геометрия вакуумной камеры:

• Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков
• Увеличенная дистанция – для Lift-off
• Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания
• Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

Подложкодержатели:

• Стандартные сферические
• С возможностью переворота
• Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения
• Разработка спец оснастки